3.3.2 분리형 플랜지 연결
진공 시스템의 개별 구성품(예: 진공실, 펌프, 밸브, 측정 기 구 등)은 직접적으로 아니면 파이프 구성품이나 탄력 있는 요 소들에 의해 서로 연결되어 있습니다. 구성품 간의 분리형 인 터페이스는 진공 밀폐 상태가 되어야 합니다. 그러나 진공 시 스템 구성 시 가능한 한 최소의 분리형 접합부를 사용해야 합 니다. 왜냐하면 분리형 접합부는 비분리형 접합부보다 더 자 주 사용되는 잠재적인 누출 소스를 대표하기 때문입니다.
스테인레스강, 알루미늄, 강철로 만들어진 플랜지 구성품을 연결 요소로 사용할 수 있습니다. 유연한 접합부에는 스테인 레스강으로 만들어진 금속 호스가 벽이 두꺼운 고무나 열가 소성 수지보다 선호됩니다. 이 호스는 앞으로 더 낮은 중간 진공 범위에서 반드시 필요합니다.
저진공 범위에서 고진공 범위까지 명목상 폭이 DN 10~DN 50인 ISO-KF 플랜지 연결은 분리형 연결에 사용되고, DN 63~DN 1000인 ISO-K와 ISO-F 플랜지에는 더 큰 명목상 크 기가 사용됩니다. 초고진공 호환 및 해제 가능 연결은 CF 플 랜지 연결로써 명목상 폭이 DN 16~DN 400이고, COF 플랜 지의 명목상 직경은 이보다 더 큰 DN 400~DN 800입니다.