3.3.2.5 COF 法兰

COF 法兰用于超高真空系统的大公称通经连接中。它们可烘 烤，适合压力高达约 1 · 10^-12 hPa。它们不是标准化的，因 此在与其他型号法兰结合时，必须测试其兼容性。它们通常 由含碳量低的不锈钢制成，如可能，采用锻造工艺。

COF 连接包括一对不同外形（公、母）的法兰，一个线型密 封件和足够数量的螺丝钉，它们提供所需的高接触压力 （图3-16）。法兰可围绕主孔轴与钻孔间距对准。从无氧铜 OF（ 无氧）焊接而成的线圈作为密封材料。

在装配过程中，将密封件紧紧插入“公”测的切口。两种型材的 密封面将铜环包围。在切口上发生挤压。冷流动受到“公”法兰 垂直内壁的限制，因此在边界层产生非常高的压力。在高压 下，微观结构的铜调整到切口并填补小的表面瑕疵，由此产 生金属超高真空密封连接。以前用过的铜线不能重复使用。 对于压力不高于达约 1 · 10^-8 hPa时，可以使用 FKM 制成的 密封件。它们通常不能重复使用，但可以进行快速安装，比 如在系统调平需要频繁安装法兰时。

在安装过程中，最初要完全均匀的对螺丝钉进行紧固，以避 免任何应力，这很重要。接着，应按顺序对螺丝钉进行紧 固，若干步骤后，一步一步，直到将铜以超高真空密封方式 连接到密封面。烘烤时，必须确保加热和冷却平稳，不要太 快。法兰连接上的温差将导致产生应力，可能引发泄漏。

图 3.16: 具有铜线和螺丝钉的 COF 连接