3.3.2 可拆卸的法兰连接

真空系统的各个部件，如真空室、阀、测量仪器等，相互直 接连接或通过管件或弹性元件连接。部件之间可拆卸的接口 必须是真空密封的。然而，在配置真空系统中，应该尽可能 少地使用可拆卸连接件，因为它们比不可拆卸连接件带来更 为频繁的潜在漏点。

不锈钢、铝和钢制成的法兰部件可用作连接元件。不锈钢制 成的金属软管比厚壁橡胶或热塑性塑料更适用于制作活动式 连接件。它们是低中真空及以上范围内绝对的必需品。

从低真空到高真空范围，具有 DN 10 至 DN 50 公称尺度的 ISO-KF 法兰连接用于可拆卸的连接，对于DN 63 至 DN 1000 的较大公称尺寸，使用 ISO-K 和 ISO-F 法兰。超高真 空兼容的可拆卸连接为公称尺度 DN 16 至 DN 400 的 CF 法 兰连接，相应公称通径 DN 400 至 DN 800 的法兰为 COF 法兰。