3.7.1.3 磁耦合旋转和平移

磁耦合用于严实的旋转或直线运动密封件。其包括一个位于外部的永磁体阵列，用来驱动也带有磁铁的转子在真空中做旋转/平移运动。两个部件之间通过薄壁管实现完全真空密封。内外转子磁铁之间的距离应该尽可能小，以便使其相互之间的耦合力尽可能大。内部转子连接至要移动的应用，外部磁转子靠手动移动或通过电机驱动。内部轴承使用适用于真空的干式润滑进行润滑。

通常情况下，使用高性能的稀土磁铁，比如钐钴磁铁。它们能获得尽可能高的耦合强度，同时具有优异的耐高温性，如在烘烤过程中的高温。此类磁耦合系统适合于 UHV 应用。虽然大部分磁场被屏蔽了，但磁场线的分散是无法完全避免的。因此，用户必须检查其应用是否足以抵抗残余磁场。

凭借磁耦合系统，可实现旋转和直线运动以及旋转/直线的同时传递。可传输的位移力和扭矩受到磁铁数量及其排列的限制。所能达到的精度取决于要移动物质的质量。磁场充当两个耦合搭档之间的弹簧。外力和扭矩越高，内外转子之间的位置偏差越大。与最大允许值相比，如果外力和力矩比较低，则可精确地传输运动。