3.7.1.4 密封的弹性体旋转和平移

对于承受动态应力的真空适用密封件，使用特殊的弹性体密封件，其往往由 FKM（含氟弹性体）材料制成。壳体、密封件和驱动器轴之间限制尺寸的调整必须谨慎进行，同样也适用于表面处理的设计与实现。

为了应对频繁的运动以及增强密封效果，弹性体密封件必须在运动接触点处进行润滑，从而减少摩擦、防止过早磨损，以及校平表面上的细微不平整。选择合适的真空润滑脂或油，除了考虑最高的操作和烘烤温度外，还必须考虑其它特性，特别是蒸气压。

弹性体贯通密封件只可部分烘烤。此外，必须检查成分中含有的润滑脂或少量的有机物是否与应用兼容。在考虑这些局限性时，如果对真空质量上的要求不是很高，弹性体机械密封件则可用于替代那些功能原理更优越的昂贵设备。