4.3.2 应用
其无烃的吸入室使隔膜泵特别适合作为具有 Holweck涡轮分 子泵的前级泵。 甚至两级隔膜泵可实现极限压力大约为 5 hPa。对于 Holweck 涡轮分子泵的前级泵， 这已足够了。清 洁真空特别利适用于分析和研发应用。由于无气镇，隔膜泵 也不能抽出水蒸气。 即使高真空设备壁解吸的少量水蒸气也 可以使隔膜泵的极限压力急剧上升。然而，一些隔膜泵配备 了气镇阀，该阀根据专利方法操作。为此，允许气体进入两 级隔膜泵第一级和第二级之间的连接通道， 而且这通过一个 小孔与第一级的吸入室连接。
| 隔膜泵 | |||
|---|---|---|---|
| 型号 | 抽速 | 极限压力 | 应用 |
| MVP 003-2 | 0.25 m³ · h-1 | ≤ 7.0 hPa | 小型涡轮分子泵站(使用 HiPace 10 和 HiPace 80 比较适合)、移动分析设 备、氦气检漏仪再生 |
| MVP 006-4 | 0.25 m³ · h-1 | ≤ 2.0 hPa | 小型涡轮分子泵站(使用 HiPace 10 和 HiPace 80 比较适合)、移动分析设 备 |
| MVP 015-2 | 0.5 m³ · h-1 | ≤ 3.5 hPa | 涡轮分子泵站、泄漏探测器、研究实验室、分析和化学应用 |
| MVP 015-4 | 0.5 m³ · h-1 | ≤ 0.5 hPa | |
| MVP 030-3 | 1.8 m³ · h-1 | ≤ 2.5 hPa | |
| MVP 040-2 | 2.3 m³ · h-1 | ≤ 4.0 hPa | |
| MVP 070-3 | 3.8 m³ · h-1 | ≤ 1.0 hPa | |
| MVP 070-3 C | 3.4 m³ · h-1 | ≤ 1.5 hPa | 要求无烃真空的腐蚀性气体应用 |
表 4.12: 隔膜泵的性能数据
如果较大量的水分聚集且使用无气镇的隔膜泵，则必须在上 游连接合适的分离器或冷阱，以防止在泵中形成大量的冷凝 物。但是极限压力将会增高。
