4.6.2 어플리케이션
부식성 기체 버전에서 다단계 루츠 펌프의 이점에는 다음이 포함됩니다.
- 온도, 퍼지 기체 처리랑, 회전 속도를 조정함으로써 관련 된 진공 공정으로 이상적인 조정
- 기체 변위 영역에서 윤활 없음
- 작동 유체 처리 문제 없음
- 높은 신뢰성과 시스템 가동 시간
- 긴 서비스 간격, 낮은 전력 소모, 냉각수 및 플러싱 기체의 중간 소모, 결과적으로 낮은 소유 비용
- 청정실과 펌프 수준에서 통합과 절감이 양호한 작은 설치 면적
- 광범위한 제어 옵션, 국부 또는 원격 제어, 모니터링 네트 워크의 통합
- 최소 누출률
- 부식성 공정에서 터보 펌프 및 루츠 펌프에 대한 이상적인 배압 펌프
- UL/CSA 및 SEMI S2에 인증
먼지와 입자
공정 펌프는 입자에 노출되고 공정 챔버 및 고진공 라인으로 부터 펌프에 전달됩니다. 또한 펌프 자체에서 반응 부산물의 응축으로부터 비롯될 수 있는 입자와 퇴적물도 허용되어야 합니다. 이상적으로는 조정 가능한 가열 및 제어된 온도 패턴 을 사용하면 입자와 퇴적물의 형성을 피하는 것이 가능합니 다. 수직 방형으로 펌핑하면 모든 입자는 펌프 단계에서 떨어 져 나와 다음 단계까지 배출구 채널에 남아 있습니다. 다음 환기 및 후속 펌프 다운 후에 입자는 뒤따르는 다음 단계로 변위된 기체에 의하여 방전됩니다. 이 방전 메커니즘은 유입 구에서 출구까지 생성된 입자의 98% 이상을 배출합니다. 이 것은 공정 화학 물질 뿐만 아니라 입자까지도 포획하고 처리 하는 중앙 배기가스 청소 시스템이 펌프 출구에서 제공될 수 있음을 의미합니다. 유입 측면의 높은 정비 트랩과 필터는 부 식성, 독성, 응축 가능 매개체에 대한 진공 솔루션에서는 가 능하면 언제나 피할 수 있습니다.
부식성 기체
P 및 H 시리즈의 다단계 루츠 펌프는 반도체, 태양열, 평면 스크린 코팅 산업의 부식성 기체 공정을 위하여 특별히 설계 되었습니다. 펌프의 탄성 중합체 재료 뿐만 아니라 금속 로터 와 회전자도 높은 부식 저항 재료로 만들어졌습니다.
누출률
높은 기밀, 주변 공기 또는 배기가스 청소 시스템에서 확산되 는 기체 또는 역류 방지 밸브를 통한 문질러 떨어짐으로부터 보호 기능이 있기 때문에 다단계 루츠 펌프는 부식성 기체 어 플리케이션에 대한 완벽한 솔루션이 됩니다. 밀봉된 모터 역 시 누출 방지 개념의 일부입니다.
