4.6.4 공정 화학

코팅 공정에서 특히 이 장의 도입부에서 제시된 것처럼 반도 체와 평면 스크린의 생산에서 그리고 태양열 산업에서, 진공 펌프의 내부성은 매우 중요합니다. 공정 호환성 이외에도 작 은 설치 면적과 낮은 작동 비용은 특히 중요한 펌프 매개변수 입니다. P 시리즈는 동일한 설치 면적을 유지하면서도 이전 모델에 비해 전력 입력을 최대 53% 낮춤으로써 이런 요구조 건을 충족시킵니다.

이 펌프 시리즈는 A 103 P 건식 공정 펌프에 기초하고 있습 니다. 당사는 이 시리즈에서 두 개의 모델을 선택하여 공정 압력 범위에서 펌프 속도 및 기체 처리량을 향상시키기 위하 여 루츠 펌프로 보완했습니다. 전력 입력은 A 103 P의 6단계 설계와 에너지 효율 모터로 인해 낮은 상태로 유지됩니다. A 103 P의 6단계 설계는 다양한 단계들 사이의 차압과 펌프의 전력 입력을 감소시킵니다. 6단계 이외에도 대규모 유입 단 계와 높은 회전 속도는 높은 펌프 속도와 낮은 최종 압력을 가능하게 해줍니다.

펌프 블록의 출구 측면에 직접 소음기를 설치함으로써 소형 펌프 설계가 가능하며 추가 가열 슬리브 없이 펌프 블록에 의 한 소음기의 직접 가열을 통하여 에너지 절감을 이끕니다. 전 체 펌프의 온도 제어 및 연속 모니터링 가열은 반응 부산물의 응축을 방지하기 위하여 필요합니다.

P 시리즈 대기 옵션으로 인해 펌프는 냉각수를 덜 사용할 뿐 만 아니라 작동 비용의 절감을 이끄는 공정 작업 이외의 플러 싱 기체 소모를 감소시킵니다.

광범위한 활성 및 제어 옵션은 수동 제어 모드 뿐만 아니라 시스템 제어 및 모니터링 네트워크에 연결을 통한 제어를 허 용합니다. 중요한 매개변수는 통계적인 평가를 위하여 직접 출력 및 추출될 수 있습니다.

P 시리즈는 CE 및 SEMI S2를 준수합니다.