4.6.3 부하 락과 비부식성 기체

ACP 120은 수냉식 다단계 루츠 펌프의 초보 수준 모델입니 다. ACP 시리즈 펌프는 대량의 부식성 기체의 펌프 다운에 적합하지 않습니다. 그러나 ACP 시리즈 펌프는 최소한 부식 성 기체의 추적을 다루는 데에 사용될 수 있습니다. 이 경우 에 불활성 기체 커튼으로 베어링이 보호되는 곳에 불활성 기 체 퍼지가 사용되고, 공정 기체는 펌프 단계에 불활성 기체를 도입함으로써 희석됩니다.

ACP 120은 독립형 펌프로 작동되거나 이상적인 산업용 솔 루션이면서 반도체 산업용 부식성 기체 버전의 설계로부터 장점을 따온 ACG 600 펌핑 스테이션으로써 루츠 펌프와 결 합하여 작동될 수 있습니다. ACP/ACG 펌프는 그들의 마찰 없는 설계를 통한 세정 공정에 이상적으로 적합합니다. 이들 은 탁월한 장기적 안정성과 긴 정비 간격을 달성합니다

그림 4.12: ACP 120

반도체 산업용 락 펌프는 지정 시 “부하 락”을 나타내는 “L”이 있습니다. 위에서 설명된 ACP 120과는 대조적으로 한 개의 하우징과 한 개의 제어기가 장착되어 있습니다. 주파수 변환 기는 본선 전압과 주파수에 상관 없이 전세계적으로 재생 가 능한 성능 매개변수를 보장합니다.

L-시리즈 펌프는 작동 시간 카운터, 상태 표시등이 장착되어 있어서 국부 및 원격 제어 모드에서 작동될 수 있습니다.

유입구 및 출구 플랜지는 반도체 생산 기계의 제어 유닛에 스 스로롤 연결하게 해주는 입력-출력 인터페이스 뿐만 아니라 펌프 후면에 장착되어 있습니다. 직렬 인터페이스는 예를 들 어 펌프가 모니터링 네트워크에 연결될 수 있게 하기 위하여 선택적으로 이용 가능합니다. 수냉 연결 및 선택적인 에너지 절약 옵션 역시 펌프 후면에 위치해 있습니다(그림 4.13 참조).

펌프 하우징에 통합된 선택적인 에너지 절감 옵션(에너지 절 약, ES)은 펌프 전력 소모를 최대 50% 줄여줍니다. 그 결과 운영자의 소유 비용이 상당히 줄어듭니다. 에너지 절약 이외 에도 A 100 L ES는 7 · 10^-4 hPa의 최종 압력에 도달할 수 있 습니다. 잡음 수준 역시 3dB(A) 감소합니다.

그림 4.13: A 100 L 후면 연결

펌프 표면을 깨끗하게 유지함으로써 유닛은 적층될 수 있어 서 반도체 제작 청정실 또는 지하실에서 차지하는 공간을 최 소화할 수 있습니다. 최소 설치 면적, 적층 가능성, 대기압에 서의 높은 펌프 속도, 에너지 절약 옵션, 낮은 최종 압력과 높 은 신뢰성과 장기적 안정성의 결합으로 인하여 L 시리즈는 모든 부하 락 공정에 대한 이상적인 솔루션입니다

낮은 최종 압력과 줄어든 잡음 수준이 L 시리즈를 매력적인 분석, 연구, 개발 어플리케이션으로 만듭니다.