5.3.2 ActiveLine系列
ActiveLine 系列包括三种控制单元和八个主动式真空计，具 有 0 – 10 伏模拟输出。所有发射机都配备了相同的连接器组 件，因此可以在控制单元上使用相同的测量电缆进行操作。 测量电缆可提供 1 到 50 米的标准长度。
主动式压电真空计 APR具有六个型号，涵盖从 5.5 MPa (55 bar) 至 10 Pa (0.1 mbar) 五个测量范围。
电容式膜片真空计 CMR 可提供温度补偿和温度调节两个版 本，每个都从 1100 hPa – 10-5 hPa 具有五个测量范围。使 用具有不同额定值（满量程 = F.S.）的膜片产生以下类别：
- 1,000 hPa F.S. 压力范围 1,100 至 10-1 hPa
- 100 hPa F.S. 压力范围 110 至 10-2 hPa
- 10 hPa F.S. 压力范围 11 至 10-3 hPa
- 1 hPa F.S. 压力范围 1.1 至 10-4 hPa
- 0.1 hPa F.S. 压力范围 0.11 至 10-5 hPa
来自普发真空这些陶瓷技术真空计在很多应用中具有可靠的 业绩记录，特别是在腐蚀性应用中。
对于在显微技术中的使用，其常用单位为 Torr 和 mTorr, 电容式膜片真空计 CCR 可以 Torr 提供额定值：
- 1,000 Torr F.S. 压力范围 1,332 至 10-1 hPa
- 100 Torr F.S. 压力范围 133 至 10-2 hPa
- 10 Torr F.S. 压力范围 13.3 至 10-3 hPa
- 1 Torr F.S. 压力范围 1.33 至 10-4 hPa
- 0.1 Torr F.S. 压力范围 0.13 至 10-5 hPa
CCR 系列具有 D-Sub 连接器组件，且其电源和输出电压可 与其他商业电容式变送器兼容。然而，由于这些特点，它们 不能使用 ActiveLine 控制单元进行操作。
具有两种主动式 皮拉尼真空计 TPR 用于 1,000 hPa 至 5 · 10-5 hPa 的中真空范围和三种主动式 冷阴极真空计 IKR 测量范围在 10-2 至 5 · 10-11 hPa 之间，这使得单传感器 ActiveLine 发射机的范围很完美。
TPR皮拉尼真空计也可以连接到 DCU 机组显示控制单元， 从而无需额外费用就提供压力读数。
主动式 热阴极真空计 IMR 265 传感器中的电极（阳极、阴 极、收集器）彼此之间的间隙设计的极小。因此，即使在压 力 p < 10-2 hPa 时，分子流仍占主导地位，从而可以测量那 里的离子电流。该变送器的另一个优势是，与 Bayard-Alpert 设计相比，对污染具有较低的敏感性，这使得它非常适合于 控制主要在较低中真空范围的真空工艺。
可提供以下具有组合传感器的主动式真空计：
- 电容式膜片皮拉尼组合真空计 PCR 280 用于压力范围 1,500 至 5 · 10-4 hPa；高效的皮拉尼传感器与膜片传感器 组合在粗真空范围内很准确
- 皮拉尼冷阴极组合真空计 PKR 251 和 261 用于压力范围 1,000 至 5 · 10-9 hPa；是稳健传感器的理想组合，适用于 范围广泛的真空应用
- 皮拉尼/Bayard-Alpert 组合真空计 PBR 260用于压力范 围 1,000 至 5 · 10-10 hPa；与皮拉尼传感器提供的热阴极 灯丝的安全性相结合，在高、超高真空范围内提供理想的 压力测量
ActiveLine 真空计具有以下优势：
涵盖整个真空范围
- 三种控制单元 TPG 261、TPG 262 和 TPG 256 A 用于 所有要求配置的一个、两个或六个测量仪
- 具有自动真空计识别的控制单元防止安装错误
- 可使用任何控制单元操作每一个真空计
- 通过为所有真空计使用相同标准的电缆而易于布线
图 5.10: ActiveLine 应用概念
