1.2.7 气体流量
用理想气体方程 (公式 1-6）除以 t 时间求出气体流量
\[q_{pV}=\frac{p\cdot V}t = \frac{m\cdot R\cdot T}{M\cdot t}\]
公式 1-15: 气体流量
| $q_{pV}$ | 气体流量 | [Pa m3 s-1] |
从方程的右边可以看出，恒定质量的流量在恒温 T 时被抽 除。这也被称为气体气流量或pV流量。 气流量是真空泵输送 的气体流量。
\[q_{pV} = S\cdot p = \frac{dV}{dt}\cdot p\]
公式 1-16: 真空泵的气体流量
用气体流量除以入口压力得到体积流率，真空泵的抽速:
\[S = \frac{dV}{dt}\]
公式 1-17: 体积流率或真空泵的抽速
表 1.8中给出了各种气流量单位的换算表。
| Pa m3 / s = W | mbar l / s | torr l / s | atm cm3 / s | lusec | sccm | slm | mol / s | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Pa m3 / s | 1 | 10 | 7.5 | 9.87 | 7.5·103 | 592 | 0.592 | 4.41·10-4 |
| mbar l / s | 0.1 | 1 | 0.75 | 0.987 | 750 | 59.2 | 5.92·10-2 | 4.41·10-5 |
| torr l / s | 0.133 | 1.33 | 1 | 1.32 | 1,000 | 78.9 | 7.89·10-2 | 5.85·10-5 |
| atm cm3 / s | 0.101 | 1.01 | 0.76 | 1 | 760 | 59.8 | 5.98·10-2 | 4.45·10-5 |
| lusec | 1.33·10-4 | 1.33·10-3 | 10-3 | 1.32·10-3 | 1 | 7.89·10-2 | 7.89·10-5 | 5.86·10-8 |
| sccm | 1.69·10-3 | 1.69·10-2 | 1.27·10-2 | 1.67·10-2 | 12.7 | 1 | 10-3 | 7.45·10-7 |
| slm | 1.69 | 16.9 | 12.7 | 16.7 | 1.27·104 | 1,000 | 1 | 7.45·10-4 |
| mol / s | 2.27·103 | 2.27·104 | 1.7·104 | 2.24·104 | 1.7·107 | 1.34·106 | 1.34·103 | 1 |
表 1.8: 各种气体流量单位换算表
