3.5.2 多重视窗

视镜主要用于观察真空室的内部,包括过程。因此,一般使 用合适厚度的硼硅酸盐玻璃,通过弹性体密封件安装进观察 窗法兰(ISO-KF、ISO-K 和 ISO-F )中。对于UHV 应用和 高温,玻璃金属化并与焊唇焊接(熔凝石英或蓝宝石玻璃) 或熔化(Kodial 玻璃)以补偿热膨胀。它们被焊接和严实密 封到观察窗法兰的焊唇上。为使应力最小化,CF 观察窗应仅 装有退火铜密封件。此外,加热和冷却必须平稳,不应太 快。

如果视窗也用作电磁波的传输,其传输范围和光学质量必须 予以考虑。一英寸和两英寸带有FKM垫片的视镜玻璃架,允 许在真空法兰中安装光学眼镜。视窗挡板能防止或减少对视 窗的污染,例如在涂层过程中。

带玻璃-金属熔合的 CF 多重视窗

图 3.19: 带玻璃-金属熔合的 CF 多重视窗