4.3.4 配件

以下配件适用于隔膜泵:

• 旋入式法兰和法兰适配器
• 净化气体连接件
• 前真空继电器箱
• 电源包和标准安装导轨
• 涡轮分子泵驱动器连接电缆

图 4.6: 螺杆泵的工作原理

图 4.7: HeptaDry 转子