3.4.1 加工—表面

先前章节中已涵盖“材料选择”和“焊接”主题。真空室和部件的 内表面是在高真空和超高真空下实现工作压力的重要因素。 必须在该条件下进行加工，以最小化有效表面，并产生具有 最小解吸率的表面。

真空室和部件的表面往往是在焊接和机械加工后经过 精细玻 璃珠喷砂的。具有限定直径的高压玻璃珠被吹到表面上。密 封面不能被喷砂，所以在喷砂过程中要将其盖住。这个过程 对表面起封闭作用，使表面精确光整平滑，去除近表层粘附 物，如色斑，并产生装饰性的外观。要喷砂的表面必须清 洁、无油脂，砂砾介质必须定期更换，特别是在改变材料类 别时，如铁素体和奥氏体不锈钢。

研磨用于消除宏观粗糙度，使其无氧化皮、水垢或划痕。这 应该在清洁、无油、无油脂的表面上进行，并且磨料不应被 加工到表面里。根据初始粗糙度和要去除的层厚度，应该分 几个步骤进行研磨，采用越来越细的颗粒，并使用横磨方法 （即：交替研磨方向）。研磨通常是随后表面处理（如电抛 光）的准备步骤。研磨产生视觉上统一的印象。凭借已经相 对光滑、酸洗的表面，研磨可以产生更多的装饰效果，而且 还可以增大表面积。

刷光用于焊缝的后处理。所用刷子必须由不锈钢制成，并且 不得受到其他物质的污染，保证无异物被带到表面上。这同 样适用于抛光。抛光或磨损可能不增加到表面上和/或然后必 须完全去除。有效的表面积不得通过微观粗糙来增加。

酸洗是清洁表面的一种有效方法。杂质和大约 1 至 2 µm 厚 的表层被溶解。相关酸洗参数，如酸洗剂浓度、温度或酸洗 时间，必须严格遵守，以避免过度酸洗。酸洗后，必须集中 冲洗，以去除酸洗液的所有残余物。酸洗过程只能略微改变 表面粗糙度。

电抛光是金属选择性阳极通过使用 DC 电源溶解到电解液 中。在这种情况下，通常去除表面 12 至 15 µm 的颗粒，以 产生结晶的纯净表面。为均匀地去除表面，必须频繁地制造 适合于部件的电极。这使得过程变得复杂起来。此外，CF 密 封面必须被覆盖保护，因为作为边缘，电场强度局部增大， 从而导致材料去除增加。在 UHV 用户中，该过程是有争议 的。对氢进入表面或通过电解液残余物进入表面上进行了讨 论。如酸洗一样，在电抛光后，必须彻底冲洗部件。此外， 在这之后应进行泄漏测试，因为焊缝区域的物质被去除了。 根据先前条件，电抛光可以减少一半的表面粗糙度。