3.2.2.2 金属密封件
对于具有高温或低温、较长使用寿命、高辐射负载的应用且 只要很低的渗透率很重要，必须使用金属密封件代替弹性体 密封件。经常用于金属密封件的材料有铜和铝，在某些情况 下，甚至是银和金，在冷冻技术中主要为铟。金、银和铟主 要用作线型密封件，而铝还用作成形密封垫。也有弹性金属 涂层密封件。
金属密封件需要高接触压力。在装配过程中，它们产生塑性 变形，因此只能使用一次。其硬度应小于法兰硬度，以使其 适应其微观结构，以创造金属超高真空密封连接。确定螺丝 钉或紧固件尺寸的方法是，在各种操作模式下，都必须保证 每 1 mm 的密封长度上的接触 力高达 600 N/mm。
对于不锈钢制成的 ISO-KF 和 ISO-K/ISO-F 法兰，所用的金 属密封件具有菱形截面（铝边封条）。使用退火铝硅合金制 成，将要求接触力 100 N / mm密封长度。由于铝和不锈钢的 热膨胀系数不同，最高使用温度限制在 150°C 左右。在过高 温度后，在冷却过程中会发生密封效果下降的情况。
铜与奥氏体不锈钢具有相同的热膨胀。铜垫片用作扁平密封 件（CF 法兰）或线型密封件（COF 法兰）。它们必须是无 氧铜，即使用铜的质量 OF （无 氧）或 OFHC （无氧 高电 导率）。如果不使用无氧铜，可能存在的氧会在热处理过程 中（ 如在烘烤过程中）与氢发生反应。这会导致所谓的“氢 脆”，其中所产生的水可以通过破坏微观结构来导致泄漏。CF 法兰的扁铜密封件要求接触压力至少为 200 N/mm 密封长 度。其最高允许的空气操作温度为 200°C。凭借银涂层，最 高温度可增加至 450°C。退火的铜密封件需要较低的接触压 力。它们特别适用于观察窗，以便在装配过程中保持尽可能 小的应力。
