표 찾아보기
1 진공 기술 소개
- 표 1.1
- 대기의 구성
- 표 1.2
- 진공 기술의 압력 범위
- 표 1.3
- 압력 단위의 변환표
- 표 1.4
- 다양한 기체의 몰 질량 및 평균 열 속도
- 표 1.5
- 273.15K에서 선택한 기체들의 평균 자유 행로
- 표 1.6
- 273.15K에서 질소 분자의 평균 자유 행로 (0 °C)
- 표 1.7
- 흐름 영역의 유형들의 개요
- 표 1.8
- 처리량 단위의 변환표
2 기본 연산
3 진공의 기계적 구성품
- 표 3.1
- EN 10088 part 1의 유럽 재료 지정에 따른 스테인레스강의 화학적 구성(질량 부분)
- 표 3.2
- 미국철강협회(AISI)의 재료 지정에 따른 스테인레스강의 화학적 구성(질량 부분)
- 표 3.3
- 스테인레스강 속성
- 표 3.4
- 탄성 중합체 속성
- 표 3.5
- 밀봉재의 비교
- 표 3.6
- 실온에서 나사의 기계적 특징 및 재료
- 표 3.7
- 스테인레스강 및 아연 도금 강철 나사의 마찰 계수
- 표 3.8
- 직경이 ≤ M24인 스테테인레스강 및 강철 나사에 대한 0.2% 항복점의 온도 의존성.
- 표 3.9
- 스테인레스강 나사에 대한 최대 죔 토크 및 그에 따른 최대 예압 힘
- 표 3.10
- 강도 클래스 8.8인 강철 나사의 최대 죔 토크 및 그에 따른 최대 예압 힘
4 진공 생성
- 표 4.1
- HenaLine 성능 데이터(모든 데이터는 50 Hz 작동 참조)
- 표 4.2
- UnoLine Plus 성능 데이터(모든 데이터는 50 Hz 작동 참조)
- 표 4.4
- DuoLine 성능 데이터
- 표 4.5
- Duo M 시리즈 성능 데이터
- 표 4.6
- Duo MC 시리즈 성능 데이터
- 표 4.7
- Pascal SD 시리즈 성능 데이터
- 표 4.8
- Pascal I 시리즈 성능 데이터
- 표 4.9
- Pascal C1 시리즈 성능 데이터
- 표 4.10
- Pascal C2 시리즈 성능 데이터
- 표 4.11
- 배압 펌프와 루츠 펌프의 오일 유형
- 표 4.12
- 격막 펌프 성능 데이터
- 표 4.13
- HeptaDry 성능 데이터
- 표 4.14
- 공랭식 다단계 루츠 펌프의 가능한 구성
- 표 4.15
- 공랭식 다단계 루츠 펌프 성능 데이터
- 표 4.16
- 비부식성 어플리케이션용 수냉식 다단계 루츠 펌프의 성능 데이터
- 표 4.17
- 비부식성 어플리케이션용 P 시리즈 수냉식 다단계 루츠 펌프의 성능 데이터
- 표 4.18
- 비부식성 어플리케이션용 H 시리즈 수냉식 다단계 루츠 펌프의 성능 데이터(거친 공정)
- 표 4.19
- OktaLine 성능 데이터
- 표 4.20
- OnTool Booster 성능 데이터
- 표 4.21
- 질소에 대한 HiPace®의 선택된 성능 데이터
- 표 4.22
- 질소에 대한 자기 베어링 터보 펌프의 성능 데이터
5 진공 측정 장비
- 표 5.1
- 액티브 및 패시브 진공 측정기
- 표 5.2
- 진공 측정기 선택 가이드
6 질량 분석기와 잔류 기체 분석
- 표 6.1
- 필라멘트 재료와 사용
- 표 6.2
- 감지기와 속성
- 표 6.3
- 다양한 기체 유입 시스템과 그 속성
7 누출 탐지
- 표 7.1
- 스니핑 방식과 진공 방식을 사용한 국부 누출 감지
- 표 7.2
- 스니핑 방식과 진공 방식에 의한 전체 누출 감지
- 표 7.3
- 누출 감지기와 4중극자 질량 분석기의 비교
- 표 7.4
- 파이퍼 베큠 누출 감지기
