1.2.7 pV 처리량
일반 기체 방정식(공식 1-6)을 시간 t로 나누면 다음과 같 이 기체의 흐름을 얻을 수 있습니다
\[q_{pV}=\frac{p\cdot V}t = \frac{m\cdot R\cdot T}{M\cdot t}\]
공식 1-15: pV 처리량
| $q_{pV}$ | pV 처리량 | [Pa m3 s-1] |
방정식의 오른쪽에서 볼 수 있듯이, 일정한 질량 흐름은 일정 한 온도 T에서 변위됩니다. 이것 역시 pV 흐름 또는 기체 처 리량이라 불립니다. 처리량은 진공 펌프에 의해 운반되는 기 체 유속입니다.
\[q_{pV} = S\cdot p = \frac{dV}{dt}\cdot p\]
공식 1-16: 진공 펌프의 처리량
처리량을 유입 압력으로 나누면 다음과 같이 진공 펌프의 펌 프 속도인 부피 흐름 비율을 얻을 수 있습니다.
\[S = \frac{dV}{dt}\]
공식 1-17: 부피 흐름 비율 또는 진공 펌프의 펌프 속도
처리량의 다양한 단위에 대한 변환표는 표 1.8에 나와 있 습니다.
| Pa m3 / s = W | mbar l / s | Torr l / s | atm cm3 / s | lusec | sccm | slm | Mol / s | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Pa m3 / s | 1 | 10 | 7.5 | 9.87 | 7.5·103 | 592 | 0.592 | 4.41·10-4 |
| mbar l / s | 0.1 | 1 | 0.75 | 0.987 | 750 | 59.2 | 5.92·10-2 | 4.41·10-5 |
| Torr l / s | 0.133 | 1.33 | 1 | 1.32 | 1,000 | 78.9 | 7.89·10-2 | 5.85·10-5 |
| atm cm3 / s | 0.101 | 1.01 | 0.76 | 1 | 760 | 59.8 | 5.98·10-2 | 4.45·10-5 |
| lusec | 1.33·10-4 | 1.33·10-3 | 10-3 | 1.32·10-3 | 1 | 7.89·10-2 | 7.89·10-5 | 5.86·10-8 |
| sccm | 1.69·10-3 | 1.69·10-2 | 1.27·10-2 | 1.67·10-2 | 12.7 | 1 | 10-3 | 7.45·10-7 |
| slm | 1.69 | 16.9 | 12.7 | 16.7 | 1.27·104 | 1,000 | 1 | 7.45·10-4 |
| Mol / s | 2.27·103 | 2.27·104 | 1.7·104 | 2.24·104 | 1.7·107 | 1.34·106 | 1.34·103 | 1 |
표 1.8: 처리량 단위의 변환표
