3.7.1.2 벨로우즈 밀봉 회전

소위 캐테일 또는 워블 원리는 벨로우즈(예: 진공과 대기 사 이의 밀폐 격리로 인한 회전 동작)를 이용한 회전 이동 전달 을 허용합니다. 그림 3.25는 이런 피드스루 설계를 보여줍니다. 끝이 크랭크 핀(3)에서 지지되는 앵글 구동 축(1)은 진공 속에서 구동 축 (4)을 회전시킵니다. 용접 밀봉은 워블링 이동을 수행하는 비 회전 벨로우즈 실(2)로 구성되어 있습니다. 구동된 축과 구동 축은 진공에 적합한 건조 윤활로 코팅된 스테인레스강 볼 베 어링에 의해 지지됩니다.

그림 3.25: 벨로우즈 밀봉 UHV 회전 피드스루(캐테일 원리)

건조 윤활은 수명과 가능한 최대 속도를 증가시킬 뿐만 아니 라 구체가 고온에서 베이크 아웃될 때 고정되는 것을 방지합 니다. 건조 윤활 이외에도 세라믹 구체가 있는 하이브리드 베 어링도 UHV 어플리케이션에 사용될 수 있습니다. 가격이 높 기 때문에 가장 높은 표준에만 사용해야 합니다. 그렇지 않으 면 소량의 탄화수소에 저항하는 고진공 어플리케이션의 경 우 베어링은 진공 적합 그리스로 윤활될 수 있습니다.