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1 진공 기술 소개

그림 1.1: 진공의 개요
그림 1.2: 전체 압력의 정의
그림 1.3: 분압의 정의
그림 1.4: 두 번의 충돌간 평균 자유 행로
그림 1.5: 273.15 K의 온도에서 질소의 분자 수밀도(빨간색, 오른쪽 y축)와 평균 자유 행로(파란색, 왼쪽 y축)
그림 1.6: 흐름 영역의 다양한 유형들의 개요
그림 1.7: p · d에 따른 진공 상태의 흐름 범위
그림 1.8: 파이프의 평균 압력에 따른 부드럽고 둥근 파이프의 전도도
그림 1.9: 다양한 물질들의 증기 압력 곡선
그림 1.10: 터보분자 펌프로 환기한 깨끗한 용기에 대한 일반 잔류 기체 스펙트럼

2 기본 연산

그림 2.1: 루츠 펌프의 공기에 대한 무부하 압축비
그림 2.2: Hepta 100 및 Okta 500이 있는 펌핑 스테이션의 체적 유량율(펌프 속도)
그림 2.3: 건조 시스템(도해).
그림 2.4: 증기 응축을 위한 루츠 펌핑 스테이션
그림 2.5: 증기 응축을 위한 루츠 펌핑 스테이션
그림 2.6: 변압기 건조를 위한 루츠 펌핑 스테이션
그림 2.7: 높은 공정 압력에서 서로 다른 터보 펌프의 기체 처리량
그림 2.8: 압력 및 처리량 조절이 가능한 진공 시스템.

3 진공의 기계적 구성품

그림 3.1: 오스테나이트 스테인레스강 탄성 모듈의 온도 의존성
그림 3.2: 오스테나이트 스테인레스강의 0.2% 항복점의 온도 의존성
그림 3.3: De Long 다이어그램m
그림 3.4: 레이저 용접의 횡단면 이미지
그림 3.5: WIG 궤도 용접의 횡단면 이미지
그림 3.6: 직사각형 홈이 있는 오링, 사다리꼴 모양 홈이 있는 오링, 각성 위치의 오링
그림 3.7: 센터링 링과 클램핑 링으로 ISO-KF 연결
그림 3.8: 센터링 링과 갈고리 모양 클램프로 기저판에 장착된 ISO-KF 플랜지
그림 3.9: 센터링 링과 이중 갈고리 모양 클램프로 ISO-K 연결
그림 3.10: 센터링 링과 갈고리 모양 클램프로 기저판에 장착된 ISO-K 플랜지
그림 3.11: 밀봉 홈을 가진 기저판에 대해 오링 너트와 갈고리 모양 클램프로 기저판에 장착된 ISO-K 플랜지
그림 3.12: 센터링 링, 볼트 링, 나사로 기저판에 장착된 ISO-K 플랜지
그림 3.13: 센터링 링과 나사로 ISO-F 연결
그림 3.14: 센터링 링과 나사로 연결한 ISO-F 플랜지 위에 볼트 링으로 장착된 ISO-K 플랜지
그림 3.15: 구리 평면 개스킷과 나사로 CF 연결
그림 3.16: 구리 와이어 실과 나사의 COF 연결
그림 3.17: 냉각 프로필과 수냉 플랜지가 있는 EUV 소스 챔버
그림 3.18: 필로우 플레이트 냉각을 사용하는 우주 시뮬레이션 챔버
그림 3.19: 유리-금속 용단이 있는 CF 뷰포트
그림 3.20: 구리로 만들어진 세라믹 절연 와이어 전도체가 있는 전기 피드스루
그림 3.21: 벨로우즈 밀봉 앵글 밸브
그림 3.22: 전자 공기식 구동 인라인 밸브
그림 3.23: UHV 게이트 밸브
그림 3.24: UHV 완전 금속 기체 도징 밸브
그림 3.25: 벨로우즈 밀봉 UHV 회전 피드스루(캣테일 원리)
그림 3.26: 자기 결합 UHV 회전 피드스루
그림 3.27: 탄성 중합체 밀봉 회전 피드스루
그림 3.28: Z-축 정밀 조작기
그림 3.29: XY-축 정밀 조작기

4 진공 생성

그림 4.1: 진공 펌프의 개요
그림 4.2: 회전 날개 펌프의 작동 원리
그림 4.3: 파이퍼 베큠 회전 날개 펌프
그림 4.4: 회전 날개 펌프용 부속품
그림 4.5: 격막 진공 펌프의 작동 원리
그림 4.6: 나사 펌프의 작동 원리
그림 4.7: HeptaDry 로터
그림 4.8: HeptaDry의 연결 및 부속품
그림 4.9: 공랭식 다단계 루츠 펌프의 작동 원리
그림 4.10: 무척 낮은 온도에서 작동되는 루츠 펌프의 암모늄 헥사 플루오르(NH₄) 2SIF₆ 의 응축
그림 4.11: 다단계 루츠 펌프의 작동 원리, 공정 펌프
그림 4.12: ACP 120
그림 4.13: A 100 L 후면 연결
그림 4.14: A 203 H 횡단면
그림 4.15: A 1503 H 공정 펌핑 스테이션
그림 4.16: 루츠 펌프의 작동 원리
그림 4.17: 기체 냉각 루츠 펌프의 작동 원리
그림 4.18: 루츠 펌프의 공기에 대한 무부하 압축비
그림 4.19: Okta 2000 및 다양한 배압 펌프를 사용한 펌핑 스테이션의 펌프 속도
그림 4.20: 측면 채널 진공 펌프의 작동 원리
그림 4.21: 터보 로터의 자유도
그림 4.22: 터보분자 펌프의 작동 원리p
그림 4.23: 특정 터보 펌프 펌프 속도
그림 4.24: 상대 분자 질량에 따른 펌프 속도
그림 4.25: 유입구 압력에 따른 펌프 속도
그림 4.26: 홀벡 단계의 작동 원리
그림 4.27: 순수 터보 펌프 및 터보 드래그 펌프의 압축비
그림 4.28: 일반적인 UHV 잔류 기체 스펙트럼(터보 펌프)
그림 4.29: 표준 HiPace 터보 펌프
그림 4.30: ATH M 자기 부상 터보 펌프
그림 4.31: 터보 펌프 부속품의 예(HiPace 300용)

5 진공 측정 장비

그림 5.1: 격막 진공 측정기의 설계
그림 5.2: 용량성 격막 진공 측정기의 설계
그림 5.3: Pirani 진공 측정기의 작동 원리
그림 5.4: Pirani 진공 측정기 곡선
그림 5.5: 전도된 마그네트론의 설계
그림 5.6: 전도된 마그네트론의 작동 원리
그림 5.7: Bayard-Alpert 진공 측정기의 설계
그림 5.8: 압력 측정 범위와 측정 원칙
그림 5.9: 어플리케이션 개념 DigiLine
그림 5.10: ActiveLine 어플리케이션 개념
그림 5.11: ModulLine 센서를 위한 TPG 300 제어 유닛

6 질량 분석기와 잔류 기체 분석

그림 6.1: 전체 및 부분 압력 측정
그림 6.2: 질량 분석기의 구성품
그림 6.3: 180°섹터 질량 분석기의 작동 원리
그림 6.4: 섹터 필드 질량 분석기: (a) 이온 소스, (b) 감지기.
그림 6.5: 4중극자 질량 분석기의 작동 원리
그림 6.6: 4중극자 필터의 안정성 다이어그램
그림 6.6b: 축 방향 이온 소스를 통과하는 섹션
그림 6.7: 전자 에너지의 기능으로써의 이온화
그림 6.8: CO₂의 조각 이온 분배
그림 6.9: 그리드 이온 소스
그림 6.10: EID 이온의 판별
그림 6.11: 크로스 빔 이온 소스
그림 6.12: 기체 기밀 축 방향 이온 소스
그림 6.13: SPM 이온 소스
그림 6.14: PrismaPlus 이온 소스
그림 6.15: Faraday 컵의 작동 원리
그림 6.16: 2차 전자 증배기(SEM)
그림 6.17: 연속 2차 전자 증배기(C-SEM)의 작동 원리
그림 6.18: 기체 유입 시스템과 크로스 빔 이온 소스가 있는 QMS
그림 6.19: 다양한 기체 유입구가 있는 차동 펌프 QMS
그림 6.20: 전기적으로 편향된 이온 소스의 전위 곡선
그림 6.21: 90° 탈축 SEM

7 누출 탐지

그림 7.1: 자전거 튜브의 거품 누출 테스트
그림 7.2: 섹터 질량 분석기의 작동 원리
그림 7.3: 일반 누출 감지기 흐름 차트
그림 7.4: 석영 창 센서의 작동 원리
그림 7.5: 시스템의 MiniTest 석영 창 누출 감지기의 진공 격막
그림 7.6: 스니핑 방식과 진공 방식을 사용한 국부 누출 감지
그림 7.7: 진공 방식을 사용한 전체 누출 감지
그림 7.8: 스니핑 방식을 사용한 에워싸인 물체의 전체 누출 감지
그림 7.9: 공기 누출이 있는 수용기의 질량 스펙트럼
그림 7.10: 냉각 호스용 누출 테스트 유닛
그림 7.11: 헬륨 회수 유닛

8 오염 관리 솔루션

그림 8.1: Moore의 법칙(Intel 및 AMD 마이크로 프로세서에서 트랜지스터 수에 의해 문서화됨)
그림 8.2: 카세트(왼쪽)와 FOUP(오른쪽)을 사용한 웨이퍼 조작
그림 8.3: 실리콘의 다이아몬드 같은 결정 구조
그림 8.4: 공기 중 분자 오염(AMC)의 분류
그림 8.5: FOUP의 AMC 소스
그림 8.6: 공기 중 극성 및 무극성 분자
그림 8.7: 표면에서의 기체-고체 상호작용
그림 8.8: 표면 장소
그림 8.9: 식각 후 표면
그림 8.10: 웨이퍼 패턴 가장자리의 결정체 성장
그림 8.11: Pod Regenerator 공정 주기

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