4.1 진공 펌프 – 작동 원리와 속성

4.1.1 진공 펌프의 분류

진공 펌프는 기체 이송 펌프와 기체 결합 또는 포획 펌프로 분류됩니다. 기체 변위 진공 펌프는 제한 없이 사용될 수 있 지만 기체 결합 진공 펌프는 기체 흡수 능력에 제한이 있으므 로 일정한 공정 종속 간격마다 재생되어야 합니다.

기체 이송 펌프로 불리기도 하는 기체 변위 펌프는 양변위 펌 프 아니면 운동 진공 펌프로 분류됩니다. 양변위 펌프는 밀봉 영역에서 대기로 또는 다운스트림 펌프 단계로 기체를 변위 합니다. 운동 펌프는 기계적 구동 시스템을 통해서 또는 펌핑 섹션이 끝날 때 응축되는 유도된 증기 흐름을 통해서 펌핑 방 향의 기체를 가속함으로써 기체를 변위합니다. 기체 결합 진 공 펌프는 잔류 기체 제거를 통하여 특히 활발한 점착 기면에 기체를 결합하거나 적절한 온도에서 기체를 응축합니다. 화 학 흡착은 증발 및/또는 승화 또는 스퍼터링을 통하여 계속 순수한 게터 표면을 생성하는 게터 펌프로 알려진 펌프 유형 에 의해 기술적으로 수행됩니다. 결합된 기체 입자는 게터 표 면과 상호 작용하기 전에 이온 게터 펌프에서 이온화할 경우 스퍼터링함으로써 게터 표면을 청소하는 동시에 스퍼터링된 재료에 의해 묻힐 수 있습니다. 비증발 게터(NEG)는 반응성 이 무척 높은 합금(주로 지르코늄 또는 티타늄)으로 구성되 고, 매우 큰 특정한 공간을 차지합니다. 기체는 미세 구멍을 통하여 게터 재료의 더 깊은 층으로 침투하여 그곳에서 안정 적인 화합물로 결합됩니다.

그림 4.1: 진공 펌프의 개요