5.2 어플리케이션 주의사항
진공 측정기의 선택 및 설치 시 다음과 같은 속성과 진공 측 정의 독특한 요소들이 고려되어야 합니다
- 진공실에서의 잠재적인 압력 경도 발생으로 인한 설치 위 치의 적절한 선택
- 표면 및 밀봉재가 탈기체를 보여줍니다. 진공 측정기는 따 라서 진공실 내부보다 더 높은 압력을 표시할 수 있습니 다. 연결 플랜지는 따라서 가능한 한 짧아야 하고, 실 수는 최소로 감소되어야 합니다.
- 이온화 진공 측정기는 펌핑 효과를 가질 수 있고 그 결과 진공실의 실제 압력보다 더 낮은 압력을 표시할 수 있습니 다.
- 저온 음극 측정기는 중간 진공 범위에서 아르곤과 같은 무 거운 기체와 함께 작동될 경우 특별히 생성되는 내재된 스 퍼터 효과를 갖습니다. 이것은 일관성 없고 부정확한 판독 을 이끌 수 있습니다.
- 탄화수소가 존재할 경우 이온화 측정기는 유기 분자의 분 해 제품들과 함께 오염됩니다. 스퍼터 효과와 같은 방식으 로 판독이 왜곡되거나 일관성이 없을 수 있습니다.
- 위에서 설명한 현살들로 인한 오염을 피하기 위하여 이온 화 측정기의 전환점이 선택되어야 합니다.
- 강력한 자기장과 전기장은 진공 측정기의 기능을 손상시 킬 수 있습니다. 이것은 특히 이온화 측정기에 적용됩니 다.
- 초고진공이 생성될 수 있기 위해서는 진공 측정기를 포함 하여 진공 장비가 베이크 아웃되어야 합니다. 기술 데이터 에 명시된 최대 베이크 아웃 온도와 조건이 부합되어야 합 니다.
저온 음극 측정기는 오염될 경우 쉽게 분해 청소될 수 있습니 다. 다른 측정 원칙을 적용하면 대체로 센서 교체가 가능합니 다. 진공 측정기는 어느 정도의 마모 및 오염의 영향을 받을 수 있고 따라서 가능하면 자주 교체될 필요가 있음을 항상 명 심해야 합니다. 광범위한 작동 조건은 교체 간격에 대한 일반 권장사항을 불가능하게 만듭니다.
