3.6.6 기체 도징 밸브와 기체 제어 밸브

기체 도징 밸브는 예를 들어 일정한 압력을 유지하거나 설정 하기 위하여 제한된 기체 흐름을 진공 시스템으로 유입시키 는데 사용됩니다. 이 밸브는 종종 니들 밸브의 원칙에 따라 작동합니다. 스핀들을 돌리면 틈이 벌어지고 이 구멍과 길이 가 흐름 전도도를 제공합니다. 기체 흐름은 스핀들 회전에 따 라 달라지며, 특징적인 곡선으로 표시됩니다. 밸브 위치는 눈 금으로 판독할 수 있으며 재생 가능하게 설정할 수 있습니다.

기체 제어 밸브는 모터 제어 가능 도징 또는 비례 밸브이고, 밸브 개구의 크기는 적용된 코일 전류와 함께 최대 구멍이 열 릴 때까지 계속 증가합니다. 코일 전류와 연관된 부피 흐름은 특징적인 곡선으로 설명됩니다. 제어 밸브는 제어 유닛에 의 해 작동하거나 외부 제어기에 의해 직접 제어됩니다. 제어 밸 브는 압력 또는 흐름 제어를 위한 자동 공정에서 사용됩니다.

UHV 조건에서 굉장히 낮은 유량률(예: 질량 분석기 어플리 케이션)일 때는 구을 수 있는 순금속 기체 도징 밸브와 금속 시트에 반하여 세라믹 판으로 밀봉하는 기체 제어 밸브가 있 습니다.

그림 3.24: UHV 순금속 기체 도징 밸브