FOUP 내부의 공기중 분자 오염(AMC) 조건의 분석
클린룸 환경에서 수행되는 생산 공정은 진공 시스템에 대한 요구 가 매우 까다롭습니다. 아주 작은 입자라 할지라도 공정을 심각하 게 제약하고 성능을 저하시키고 그 결과 경제적인 손해를 입힐 수 있습니다. 따라서 오염 리스크를 최소로 유지할 수 있도록 특정한 생산 환경을 제어하고 분석하는 게 중요합니다.
AMC – 클린룸 공정에 대한 위험
클린룸의 공기에 존재하는 기체 화합물, 표면 또는 제품을 오염시 킬 수 있는 공정 장비 또는 용기를 공기중 분자 오염(AMC)이라고 부릅니다. AMC는 최첨단 플랜트에서 심각한 손상을 초래하고 중 요한 수율 손실과 상당한 성능 저하를 유발할 수 있습니다. 몇 가 지 오염 방지 조치를 시행할 수 있으나 다음과 같은 의문 사항이
있습니다. 어떻게 해야 전면 개방 통합 포드(FOUP) 내부의 공기중 분자 오염을 쉽고 확실하게 분석할 수 있습니까?
AMC 분석용 APA 시스템
APA 302는 소위 FOUP라고 부르는 운송 상자에서, 그리고 주변 환경에서 AMC를 측정하는 독특한 인라인 모니터링 시스템입니 다. APA 302는 플루오린화 수소(HF)에 대한 특별한 측정 기능과 함께 사용할 수 있습니다. 이는 FOUP 필터를 통해 샘플을 채취한 후 2분 내에 플루오린화 수소의 농도를 결정합니다. 이 측정은 공
동 광자 감쇠 분광법(CRDS) 기반 분석 시스템에서 ppb 범위의 고 감도로 실시됩니다.
