허누출: 형성, 감지 및 방지

허누출이란 “외관상(실제가 아닌) 누출로서 소재의 표면이나 덩어 리로부터 또는 시스템 내에 부분적으로 갇힌 부피로부터 흡수되거 나 폐색된 기체가 천천히 방출됨으로써 야기됩니다. 위의 정의에 서 중요한 요소는 느린 기체 방출입니다. 이것은 분명히 허누출의 효과를 펌핑 과정을 지연시키거나 원하는 기저 압력에 도달하는 시간을 상당히 연장시키는 기체원으로 파악하는 것입니다.

허누출로 인한 기체 유속은 진공 챔버의 갇힌 기체 저장 탱크와 자 유 부피 사이의 누출 채널의 크기에 의해 결정됩니다. 채널이 매우 작으면 채널의 흐름 저항이 높기 때문에 갇힌 기체가 매우 느리게 방출됩니다. 그 결과 챔버의 펌프 다운 시간을 대폭 연장할 수 있 습니다. 진공 시스템을 반복적으로 배기하면 기체 저장 탱크가 스 스로 반복 보충될 수 있습니다. 이 효과는 펌핑이 일어날 때마다 반복됩니다. 펌프 자체는 탈기체율에 영향을 미치지 않습니다. 공 동으로부터의 누출율(단위: mbar·l/s)은 펌프에 의해 추출되는 기 체와 평형을 이룹니다. 즉, 펌핑 속도(l/s)에 실제 압력(mbar)을 곱 한 것입니다.

진 공쪽의 용접 이음이 조밀하지 않으면 갇힌 기체가 진공 챔버 내부 로 퍼질 것입니다.

확산은 갇힌 기체 부피와 챔버 내부 부피 사이의 작은 기공들의 흐 름 저항이 높기 때문에 느리게 발생할 것입니다. 만약 그와 동시에 바깥 용접 이음이 조밀하면 헬륨 누출 감지기를 사용하여 누출 위 치를 찾을 방법이 없습니다. 그러므로 대기쪽에서 접근 가능한 용 접은 연속적이지는 않지만 방해되거나 그 후에 스팟 드릴됩니다. 같은 이유로 CF 플랜지에는 누출 감지 홈이 제공됩니다. 일반적으 로 실의 직렬 연결은 항상 허누출 위험성을 제기한다고 말할 수 있 습니다. 안쪽 실은 진공 관련 실이고, 바깥쪽 실은 공동을 둘러싸 서 누출 감지에 사용되는 헬륨이 관련 실에 도달하는 것을 막습니 다.

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