진공 시스템에 대한 배압 펌프의 영향
많은 응용 분야에서, 진공 시스템의 최대 저압은 주로 사용되는 고 진공 펌프의 매개변수까지 거슬러 올라갑니다. 하지만 진공 시스 템의 특성은 고진공 펌프에 의하여 결정될 뿐만 아니라 상당한 정 도는 배압 펌프와, 전체 펌핑 스테이션 내부의 정렬에 의해서도 결 정됩니다.
진공 펌프나 펌핑 스테이션은 진공 시스템에 의하여 방출되는 기 체 흐름을 지원합니다. 공정 기체가 추가되는 진공 공정의 경우, 기체 처리량은 이 공정 기체 흐름에 의하여 결정됩니다. 대조적으 로, 진공 시스템이 추가된 기체 없이 낮은 저압에 도달할 경우, 기 체 처리량은 주로 진공 시스템의 내부 표면에서 방출된 기체에 의 하여 결정됩니다.
ACP 배압 펌프와 HiPace 터보 펌프의 펌프 결합을 승인하 기 위한 시험 설정
적합한 배압 펌프 선택
어떤 펌핑 스테이션에 어떤 배압 펌프가 선택될 경우, 그 펌프는 사용 중인 고진공 펌프의 최대 전진공 압력보다 더 작은 압력을 생 성해야 합니다. 이 최대 전진공 압력은 각각의 그리고 모든 터보 펌프의 사양에서 찾을 수 있으며, “전진공 최대”, “최대 전진공” 또 는 “전진공”으로 명명되어 있습니다. 건설 유형과 제조업체에 따 라, 홀벡 단계가 있는 현대식 터보 펌프는 20 mbar 이상의 높은 전 진공 압력으로 작동될 수 있습니다. 그래서 제공된 표준 배압 펌프 에서 펌프를 선택할 가능성을 전혀 배제할 수는 없습니다. 이것이 표준 배압 펌프의 선택을 제한하지는 않습니다. 오일 윤활된 회전 날개 펌프, 소형 격막 펌프 또는 고성능 건식 펌프와 같이 많은 배 압 펌프는 대기 상태에서 이런 전진공 압력을 생성할 수 있습니다.
