7.2.5 국부 누출 감지

국부 누출 감지는 테스트 표본의 누출을 확인하기 위하여 사 용됩니다.

진공 방식에서 테스트 표본(용기)은 누출 감지기에 연결되고, 헬륨은 스프레이 건을 사용하여 의심 영역 위에 간단히 분무 됩니다. 테스트 표본의 압력이 분자 흐름 범위에 있을 경우( 예: < 10^-3 hPa), 테스트 속도는 테스트 표본의 속도와 헬륨에 대한 테스트 설정의 효과적인 펌프 속도에 따라 달라집니다. 테스트 표본이 작을수록 또는 사용된 누출 감지기나 보조 펌 프의 속도가 빠를수록 결과는 더 빨리 얻어집니다. 더 높은 압력에서 특히 1 hPa 이상의 층류 흐름 범위에서, 디스플레 이 속도는 훨씬 더 느려지고 누출 감지기의 배압 펌프의 펌프 속도에 의해 좌우됩니다.

그림 7.6의 스니핑 방식에서 테스트 표본(3)은 테스트 기체 초과 압력으로 충진됩니다. 스니핑 프로브(2)는 누출 감지기 의 테스트 기체 연결에 연결됩니다. 테스트 표본에서 누출을 통하여 빠져나가는 테스트 기체는 프로브를 사용하여 스니 핑함으로써 감지될 수 있습니다.

그림 7.6: 스니핑 방식과 진공 방식을 사용한 국부 누출 감지

개별 누출은 국부 누출 감지를 사용하여 확인될 수 있습니다. 그러나 모든 누출의 합계는 결정될 수 없습니다. 그것이 이 공정이 품질 보증 목적을 위하여 GO / NO GO 표시장치를 제공하는 데 대하여 제한된 적합성만을 제안하는 이유입니 다.