4.9.3.2 활성 자기 부상 터보 펌프
표 4.22에는 활성 5-축 자기 부상 베어링이 있는 터보 펌프의 특성이 나와 있습니다.
이 펌프들 역시 다음과 같이 사용 가능합니다.
- ISO-K 또는 ISO-F 플랜지가 있는 HiPace® M: 표준 어플
리케이션에서 고진공을 생성하기 위한 홀벡 단계가 있는
HiPace 터보 드래그 펌프
- CF 플랜지가 있는 HiPace® M: 초고진공을 생성하기 위 한 홀벡 단계가 있는 HiPace 터보 드래그 펌프
- ATP M: 가벼운 기체에 대한 압축비가 높고 입자 허용치가 높은 홀벡 단계가 없는 클래식한 터보 펌프
- AATH M 및 MT: 부식성 기체 어플리케이선을 위한 홀벡 단 계, 밀봉 기체 시스템, 가열이 있는 터보 드래그 펌프
그림 4.30: ATH M 자기 부상 터보 펌프
| 자기 부상 터보 펌프 | ||||
|---|---|---|---|---|
| 모델 | 펌프 속도 | 압축비 | 기체 처리량* | 어플리케이션 |
| HiPace 300 M | 255 l · s-1 | > 1 · 1011 | 28 hPa · l · s-1 | 분석, 코팅, R&D |
| ATH 500 M / MT | 520 l · s-1 | > 2 · 107 | 67 hPa · l · s-1 | 반도체, 코팅, R&D |
| HiPace 700 M | 685 l · s-1 | > 1 · 1011 | 13 hPa · l · s-1 | 분석, 코팅, R&D |
| HiPace 800 M | 790 l · s-1 | > 1 · 1011 | 13 hPa · l · s-1 | |
| ATH 1603 M | 1,370 l · s-1 | > 6 · 108 | 67 hPa · l · s-1 | 반도체, 코팅, R&D: 유리 코팅, 태양전지 제조, 표면 마감, CVD, PVD/스퍼터링, 이온 주입, 플 라스마 물리학 |
| ATH 1600 MT | 1,370 l · s-1 | > 5 · 108 | 67 hPa · l · s-1 | |
| ATH 2303 M | 1,950 l · s-1 | > 1 · 108 | 67 hPa · l · s-1 | |
| ATH 2300 MT | 1,950 l · s-1 | > 1 · 108 | 67 hPa · l · s-1 | |
| ATP 2300 M | 1,850 l · s-1 | > 1 · 108 | 37 hPa · l · s-1 | |
| ATH 2800 M | 2,150 l · s-1 | > 1 · 108 | 84 hPa · l · s-1 | |
| ATH 2800 MT | 2,150 l · s-1 | > 1 · 108 | 84 hPa · l · s-1 | |
| ATH 3200 M | 2,700 l · s-1 | > 1 · 108 | 84 hPa · l · s-1 | |
| ATH 3200 MT | 2,700 l · s-1 | > 1 · 108 | 84 hPa · l · s-1 | |
*) 기체 처리량은 구동에 따라 달라집니다.
표 4.22: 질소에 대한 자기 베어링 터보 펌프의 성능 데이터
