4.3.2 어플리케이션

탄화수소 없는 흡입실은 격막 펌프가 홀벡 단계의 터보분자 펌프에 대한 건조 배압 펌프로써 사용되는 데에 특히 적합하 게 해줍니다. 2단계 격막 펌프도 약 5 hPa의 최종 압력에 도 달할 수 있습니다. 이것은 홀벡 터보 펌프에 대한 배압 펌프 에 충분합니다. 깨끗한 진공은 특히 분석적 및 R&D 어플리 케이션에 유용합니다. 격막 펌프 역시 기체 밸러스트 없이 수 증기를 변위하지 않습니다. 고진공 장비의 벽에서 탁착하는 수증기의 낮은 부피조차도 격막 펌프의 최종 압력이 극적으 로 증가하도록 할 수 있습니다. 그러나 일부 격막 펌프는 특 허받은 공정에 따라 작동하는 기체 밸러스트 밸브가 장착되 어 있습니다. 이런 목적으로 기체가 2단계 격막 펌프의 첫 번 째 및 두 번째 단계 사이의 연결 채널로 유입되며, 이것은 작 은 구멍을 경유하여 첫 번째 단계의 흡입실과 연결됩니다.

더 큰 부피의 습기가 축적되고 기체 밸러스트 없는 격막 펌프 가 사용될 경우엔 펌프에 상당량의 응축물 형성을 방지하기 위하여 적합한 분리기 또는 냉각 트랩이 업스트림에 연결되 어야 합니다. 그러나 최종 압력은 그럼에도 불구하고 증가합 니다.