Analyse molekularer Verunreinigungen durch Fluorwasserstoffgas
Gasförmige Verbindungen in der Luft eines Reinraums, der Prozessausrüstung oder einem Behälter können Oberflächen oder Produkte verunreinigen. Sie werden als luftgetragene molekulare Verunreinigung (Airborne Molecular Contaminations, AMC) bezeichnet. AMC kann selbst in modernsten Produktionsanlagen schwere Schäden verursachen. Dabei ist Fluorwasserstoffgas eine der kritischsten Ursachen für molekulare Verunreinigungen in einer Halbleiterfabrik.
Das Kontaminationsmanagementsystem APA 302 ist ein produktionsbegleitendes Überwachungssystem zur Messung von AMCs in einer Transportbox - dem sogenannten FOUP – sowie ihrer unmittelbaren Umgebung. Der APA 302 ist mit einer speziellen Fluorwasserstoffmessung verfügbar. Diese liefert die Fluor-wasserstoffkonzentration zwei Minuten nach der Probennahme durch die Filter des FOUP mit hoher Empfindlichkeit (im ppb-Bereich). Diese präzise Messung ist dank eines auf Cavity-Ring-Down-Spektroskopie (CRDS) basierenden Analysegerätes möglich. Die AMC-Konzentration kann also auf Grundlage der Ergebnisse des APA 302 in Echtzeit ermittelt werden.
