普发真空提供两种基本的质谱仪型号：

• 紧凑型 PrismaPlus，具有 6 mm 直径的杆系统，长度为 100 mm，以及/li>
• 高分辨率 HiQuad，质量过滤器直径为 8 mm 和 16 mm， 长度为 300 mm。

PrismaPlus

这是一个紧凑型设备，其整个电子装置被连接到分析仪， 且可以拆下来进行烘烤。PrismaPlus 提供以下功能：

• 质量范围 100、200 和 300 u
• 法拉第杯和 C-SEM 可用作探测器
• 可以配备各种离子源和金属丝
• 分析仪可以在高达 300°C 的温度下烘烤

PrismaPlus 可用作独立设备，也可以集成到模块和分析系统 中。

HiQuad
这些设备提供最高的精度，并具有以下特点：

• 不同的型号涵盖质量范围 1–16 u、1–128 u、 1–340 u、1–300 u、1–512 u、1–1,024 u 和 1–2,048 u。
• 不同的质量过滤器具有杆直径：6 mm、8 mm 钼、 8 mm 不锈钢和 16 mm钼
• 上述所有离子源几乎都可以与分析仪相结合。
• 有用于分析中性粒子以及正负离子 (SIMS) 的离子光学元 件。
• 所有类型的探测器，即：法拉第杯、法拉第杯和 SEM、法 拉第杯和 C-SEM 以及离子计数器，可提供各种配置。
• 这些质谱仪可以凭借输入/输出模块集成到分析系统。

模块
模块是特殊的过程监控或气体分析设备，其配备了各种进气 系统并连接到用于排空分析仪的干式涡轮牵引泵机组：

• HPA 220 高压分析仪，基于 PrismaPlus。过程压力可达 50 hPa，提供手动和自动进气系统
• SPM 220 溅射工艺监控器，基于 PrismaPlus。通过各种 进气口选项，过程压力可达 10^-2 hPa 或 10 hPa
• SPM 700 溅射工艺监控器，基于 HiQuad。与 SPM 220 具有相同的过程压力
• EPD 700 用于在气相蚀刻时检测正离子，基于 HiQuad。 过程压力可达 10^-2 hPa

台式质谱仪
普发真空具有基于 PrismaPlus 的完整系统，用于在大气压下 分析气体。优化的进气系统使用封闭式离子源，以获得最大 的检测灵敏度。

• OmniStar GSD 320 O 具有加热和温度调节进气系统， 用于在大气压下的定量气体分析。
• ThermoStar GSD 320 T 经设计与热重分析仪耦合。使用 石英毛细管，允许高温样气进入。惰性石英表面防止表面 反应，因此避免了测量结果的误差。

这些设备或其元件由 OEM 客户在完整设备中进行安装，其 可能具有广泛的附加功能，如待分析物质的上游处理（如气 溶胶的蒸发）或供应校准气体混合物进行自动校准。