3.6 阀

除了作为真空技术中典型的阻断元件和在设计产品中必须考 虑的一般技术要求外，真空系统中的阀还受到特殊要求的约 束。

在配置和选择真空阀时，必须考虑最小的压差和分子流范围 内部件的高流阻。此外，阀体和阀座要求最小的泄漏率。阀 中移动部件真空侧的润滑剂必须适合于所需的压力和温度范 围，或者尽可能避免整体暴露在高或超高真空中。最小的有 害（死）空间和大流导很重要，特别是在分子流范围内。

机械驱动元件导入必须以满足有关气密性以及压力和温度范 围要求的方式设计。根据质量要求，弹性体密封件（如轴 封）可用于压力范围高于 1 · 10^-4 hPa 的较低真空要求； 而薄膜或弹簧波纹管用于小于 1 · 10^-4 hPa 的压力范围。此 外，如果适当设计的话，用金属波纹管密封的阀可以烘烤。 带有弹性密封件的壳体、阀板或法兰的阀可用于高达 1 · 10^-8 hPa 的压力。安装位置通常是在阀门关闭时大气压正好作用 于阀板之上，从而增加闭合力。

全金属阀，其中所有密封件由金属制成，适合于 UHV 应用和 较高的烘烤温度，但是它们经常需要较高的闭合力以进行密 封。软金属（铜或特殊合金）用作密封材料。除闭合力较高 外，还必须考虑到密封件的使用寿命较短。

在真空技术领域中有各种不同类型的阀用于不同的应用；这 些阀以其设计或功能命名。