4.1.1 真空泵的分类

真空泵分为气体输送泵和气体吸附或捕集泵。气体输送式真 空泵可以连续使用，而气体吸附真空泵具有有限的气体吸收 能力，并且必须在一定的过程时间间隔进行再生。

气体输送泵，分为容积式真空泵和动量传递真空泵。容积泵 将密封空间中的气体排到大气或下级泵中。动量传递泵通过 机械驱动或蒸汽射流在运动方向对气体进行加速来抽出气。 气体吸附真空泵通过吸气或在合适温度冷凝气体的方式将气 体吸附到特别的活性表面上。吸附泵通过蒸发和/或升华或溅 射不断地产生纯净的吸气面。如果要抽出的气体粒子在与吸 气面进行相互作用之前在离子泵中被电离了，则它们在溅射 清洁吸气面的同时被溅射的材料掩盖。非蒸散型吸气剂 (NEG) 包括高反应性的合金，其主要由锆或钛组成，并且具 有非常大的比表面积。 气体可以通过微孔渗透到吸气材料的 深层内部，并在那里结合成稳定的化合物。

图 4.1: 真空概览