4.9.3.1 机械轴承涡轮分子泵
如果 HiPace® 涡轮分子泵在前级真空侧具有油润滑球轴承， 在高真空侧具有永磁体轴承，则以下涡轮分子泵系列之间是 有区别的：
- 带 ISO-K 法兰的 HiPace®:HiPace 涡轮拖动泵， 具有Holweck 级，用于产生标准应用的高真空
- 带 CF 法兰的 HiPace®:HiPace 涡轮拖动泵， 具有Holweck 级，用于产生超高真空
- HiPace® Plus:带有 Holweck 级的 HiPace 涡轮拖动泵， 具有减少的杂散磁场和超低振动水平
- HiPace® P:经典的涡轮分子泵，适用于含尘的应用
- HiPace® C:带有涂层和密封气体系统的经典涡轮分子 泵，适用于腐蚀性气体应用
图 4.29: 标准 HiPace 涡轮分子泵
表表 4.21 包含具有混合轴承的标准泵的特性。所有其他系列都 是在这些标准型号上进行的改进，基本上具有相同的特点。
| HiPace 涡轮分子泵 | ||||
|---|---|---|---|---|
| 型号 | 抽速 | 压缩比 | 气体吞吐量* | 应用 |
| HiPace 10 | 11.5 l · s-1 | 3.0 · 107 | 0.37 hPa · l · s-1 | 分析应用、泄漏探测器、 气体流量控制系统、 白炽灯和荧光灯制造 |
| SplitFlow 50 | 53 l · s-1 | > 1.0 · 108 | 1.8 hPa · l · s-1 | |
| HiPace 60 P | 64 l · s-1 | > 1.0 · 106 | 9.2 hPa · l · s-1 | |
| HiPace 80 | 67 l · s-1 | > 1.0 · 1011 | 1.3 hPa · l · s-1 | 分析应用、研究和 开发、 真空镀膜、半导体制造 |
| HiPace 300 | 260 l · s-1 | > 1.0 · 1011 | 5.0 hPa · l · s-1 | |
| HiPace 400 | 355 l · s-1 | > 1.0 · 1011 | 6.5 hPa · l · s-1 | |
| HiPace 700 | 685 l · s-1 | > 1.0 · 1011 | 6.5 hPa · l · s-1 | |
| HiPace 800 | 790 l · s-1 | > 1.0 · 1011 | 6.5 hPa · l · s-1 | |
| HiPace 1200 | 1,250 l · s-1 | > 1.0 · 108 | 20 hPa · l · s-1 | 玻璃镀膜、太阳能电池的制造、 表面处理、CVD、PVD/溅射、 离子注入、等离子体物理、 空间模拟 |
| HiPace 1500 | 1,450 l · s-1 | > 1.0 · 108 | 20 hPa · l · s-1 | |
| HiPace 1800 | 1,450 l · s-1 | > 1.0 · 108 | 20 hPa · l · s-1 | |
| HiPace 2300 | 1,900 l · s-1 | > 1.0 · 108 | 20 hPa · l · s-1 | |
*) 气体流量取决于驱动器。
表
4.21: HiPace® 针对氮选定的性能数据
带 ISO-K 法兰的标准泵的本底压力是： $p_b$ < 1 · 10-7 hPa。在烘 在烘烤后，带 CF 法兰的泵实现本底压力 $p_b$ < 5 · 10-10 hPa。
